2024.09.14
Berita Industri
Reka bentuk ketepatan tinggi LEPASKAN PENGALAT perlu mengambil kira pelbagai aspek untuk menampung keperluan ketat pemprosesan wafer semikonduktor.
Pilih bahan ketulenan tinggi seperti keluli tahan karat, seramik atau aloi khas untuk memastikan tiada kekotoran dimasukkan semasa proses pemprosesan, dan mempunyai rintangan kakisan yang baik untuk menahan hakisan kimia dalam persekitaran pemprosesan wafer. Gunakan bahan lembut seperti poliuretana dan getah pada permukaan pengapit, atau gunakan salutan khas untuk mengurangkan kepekatan tegasan dan risiko calar pada permukaan wafer. Reka bentuk mekanisme penjajaran yang tepat untuk memastikan bahawa wafer boleh diletakkan dengan tepat semasa proses pengapit untuk mengelakkan calar atau pecah yang disebabkan oleh salah jajaran. Pada masa yang sama, mekanisme pengapit mesti mempunyai kestabilan yang tinggi untuk menahan getaran dan kesan semasa pemprosesan.
Mengikut ketebalan dan bahan wafer yang berbeza, reka bentuk mekanisme daya pengapit boleh laras untuk memastikan wafer boleh diapit dengan kukuh tanpa merosakkan permukaannya akibat terlalu ketat. Permukaan pengapit RELEASE CLAMP digilap dengan tepat untuk memastikan permukaan licin dan mengurangkan kemungkinan calar. Pada masa yang sama, rawatan pembersihan yang ketat dijalankan sebelum pemprosesan untuk menghilangkan kekotoran permukaan dan mencegah pencemaran wafer.
Sepadukan penderia berketepatan tinggi seperti penderia kedudukan dan penderia daya untuk memantau kedudukan dan daya pengapit wafer dalam masa nyata. Sistem kawalan gelung tertutup digunakan untuk melaraskan tindakan mekanisme pengapit dalam masa nyata mengikut maklumat yang disuap balik oleh sensor untuk memastikan kestabilan dan ketepatan proses pengapit.
CLAMP PELEPASAN berketepatan tinggi memainkan peranan yang sangat diperlukan dalam pemprosesan wafer semikonduktor, dan nilai aplikasinya ditunjukkan terutamanya dalam aspek berikut:
Dengan mengurangkan calar dan pencemaran, KAMPIT PELEPASAN berketepatan tinggi membantu meningkatkan kerataan dan kebersihan permukaan wafer, dengan itu meningkatkan prestasi dan kebolehpercayaan peranti semikonduktor; prestasi pengapit yang stabil dan mekanisme penjajaran yang tepat memastikan kestabilan dan ketepatan wafer semasa pemprosesan, mengurangkan masa yang terbuang akibat kedudukan semula atau pembaikan calar, dan dengan itu meningkatkan kecekapan pengeluaran. Mengurangkan pecah wafer dan kadar sekerap bermakna mengurangkan kos pengeluaran dan sisa. Pada masa yang sama, ketahanan dan kestabilan KAMPIT RELEASE berketepatan tinggi juga mengurangkan kekerapan penyelenggaraan dan penggantian, seterusnya mengurangkan kos pengeluaran. Dengan pembangunan berterusan teknologi semikonduktor, keperluan untuk ketepatan pemprosesan wafer semakin tinggi dan lebih tinggi. Sebagai salah satu teknologi utama, inovasi berterusan dan peningkatan ketepatan tinggi RELEASE CLAMP akan menggalakkan kemajuan berterusan teknologi pemprosesan semikonduktor.